집적회로에서의 isolation

집적회로에서는 한개의 silicon chip위에 여러개의 소자를 동시에 제작한 후 이들 소자를 상호 연결하여 하나의 회로를 구성한다. 이때 소자간의 불필요한 상호작용을 제거하기 위하여 각각의 소자는 Isolate되어 있어야 한다. 집적회로가 아닌 일반회로에서는 각각의 소자를 따로 제작하여 회로기판에서 연결하므로 소자간의 Isolation은 기판과 공기에 의해 이루어 진다. 그러나 집적회로에서는 각 소자가 수 10.mu.정도의 간격을 두고 동일한 Chip상에 있으므로 각 소자간의 Isolation을 위하여 특별한 기술을 사용하여야 한다. 본 논문에서는 집적회로에서 사용되는 몇가지 Isolation방법을 소개하고자 한다.