전기의세계
- 제22권2호
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- Pages.11-18
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- 1973
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- 1598-4613(pISSN)
기상성장에 의한 Si단결정과 Si산화막의 특성( 1 )
The Physical Properties of Silicon and Silicon-Oxide by Epitaxial Growth (1)
초록
This paper reports some results of Si and SiO
키워드
This paper reports some results of Si and SiO