Fabrication of silicon Voltage Variable Capacitance Diode-II

VVC 다이오드의 시작연구(II)

This report is concerned with the fahrication with the falricationof silicon VVC diode by the double diffusion planer technique. At first, some design charts for VVC diode were derived by considering the voltage-capacitance relations, the critical field intensity at the metallurgical junction, and the cut-off frequency of the diode. These charts enables the fabrication engineers to design VVC diode easily without going into the sophisticated design theory. We started with a 2.5 ohm-cm n-type epitaxial silicon wafer. The phosphorous was diffused by POCl3 impurity source. Then boron diffusion followed make hyperabrupt p-n junction by BN source. The maximum to minimum capacitance ratio of the diode as a tuning diode for a TV tuner made in these experiments was 4:1. Measured electrical characteristics of the sample diodes showed in good agreement with the theoretical expectations. Slicing and polishing technique of the silicon wafer and diffusion technique of the impurity atoms, which were employed in our study, are also stated briefly in this report.

액상과 고상의 불순물원을 사용한 이중확산법을 이용하여 초분수형 p-n 접합 VVC다이오드를 열작하고 그 특성을 측정하였다. 먼저 접합부근의 불순물분포를 지수난수로 근사시키고 여기에서 부터 유도되는 인가전압대 접태용총번계, 접합부에서의 섬계로계강도, 규재주파수 등을 고려하여 WC 다이오드외 새로운 담계수법을 위시하였다. 이 설계도표는 원하는 특성의 VVC다이오드를 번표와에서 나접 설계 할수있으므로 매우 사리하다. VVC다이오드는 2.5ohnm-cm의 n형, 실리콘박편위에 도너불순물 POCl3를 사용하여 선을 확정시키고, 다시 억셉터 불순물 BN을 사용하여 붕소를 확산시켜서, 접합깊이 2미크론에 초단계형접합을 만드므로서 제작하였다. 본연구에서 텔레비젼 수상기튜너용으로 시작한 다이오드의 최대용량대 총소용량의 비는 4:1이였고 그외의 전기적 제 특성도 이론적으로 설계한 값들과 거의 합치된 결과를 얻었다. 한편 이때의 실리콘 박편의 제작법과 확산기술에 관하여 간단히 기술하였다.