Proceedings of the KIPE Conference (전력전자학회:학술대회논문집)
- 2019.07a
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- Pages.165-167
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- 2019
A Study on the DC Power Supply for Plasma Sputtering Process
플라즈마 스퍼터링 공정용 DC 전원장치에 관한 연구
- Kwon, Min-Jun (Hankyong National Univ) ;
- Lee, Woo-Cheol (Hankyong National Univ)
- Published : 2019.07.02
Abstract
플라즈마 스퍼터링 공정은 반도체, 디스플레이 등 다양한 분야에서 사용되어지고 있는 박막 코팅 공정이다. 플라즈마 스퍼터링 공정의 특성상 안정된 플라즈마를 공급하기 위하여 펄스 전원장치를 요구 하게 된다. 본 논문은 플라즈마 스퍼터링 공정용 DC 전원장치를 통해 안정된 플라즈마를 공급하고 증착 효율을 높이기 위한 연구를 진행한다.
Keywords