Design of High Voltage Conversion Ratio Power Conversion Circuit for Ionizer

이오나이저를 위한 높은 전압 변환비를 가지는 전력변환회로 설계

  • So, Pyung-Ho (Dept. of Electronics and Control Engineering, Hanbat National University) ;
  • Choi, Yeon-Woo (Dept. of Electronics and Control Engineering, Hanbat National University) ;
  • Lee, Byoung-Hee (Dept. of Electronics and Control Engineering, Hanbat National University)
  • 소평호 (전자제어공학과, 한밭대학교) ;
  • 최연우 (전자제어공학과, 한밭대학교) ;
  • 이병희 (전자제어공학과, 한밭대학교)
  • Published : 2017.11.24

Abstract

이오나이저는 에어컨이나 공기청정기와 같은 전자기기에서의 공기 정화기능이나 반도체 장비에서 웨이퍼에 먼지가 부착 되는 문제를 해결하기 위한 정전기 제거 기능 등의 용도로 활용되고 있다. 이오나이저의 동작을 위해서는 교류나 직류 형태를 가지는 수 kV의 고전압을 발생시킬 수 있는 높은 전압 변환비를 가지는 전원장치가 필요하다. 본 논문에서는 5 V 전원을 입력으로 하고, 5 kV 전원을 출력으로 하는 직류 형태의 이오나이저용 전력변환회로의 소형화 및 저가격화를 목표로 설계하고 검증한 내용에 대하여 논의하고자 한다.

Keywords