Proceedings of the KIPE Conference (전력전자학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Power Electronics (전력전자학회)
권호 표지

반도체 공정용 RFG 개발사례

  • 전은민 ((주)뉴파워프라즈마 전원연구소) ;
  • 김동식 ((주)뉴파워프라즈마 전원연구소) ;
  • 양정규 ((주)뉴파워프라즈마 전원연구소) ;
  • 김영철 ((주)뉴파워프라즈마 전원연구소) ;
  • 유승희 ((주)뉴파워프라즈마 전원연구소)
  • Published : 2017.07.04
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