Proceedings of the KIPE Conference (전력전자학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Power Electronics (전력전자학회)
권호 표지

Design and Control of Resonant Inverter Systems Using LCCL Resonant Network for RPG

LCCL 공진네트워크를 이용한 RPG용 공진형 인버터 시스템 설계 및 제어

  • Koo, Keun Wan (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Sung, Won-Yong (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Ryu, Seung-Hee (Research Institute, New Power Plasma Corporation) ;
  • Lim, Chang-Seop (Research Institute, New Power Plasma Corporation) ;
  • Lee, Byoung Kuk (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University)
  • 구근완 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 성원용 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 유승희 ((주)뉴파워프라즈마) ;
  • 임창섭 ((주)뉴파워프라즈마) ;
  • 이병국 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과)
  • Published : 2017.07.04
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Abstract

본 논문에서는 플라스마 부하의 특성을 고려하여 LCCL 공진 네트워크가 적용된 RPG (remote plasma generator)용 공진형 인버터를 설계 하고 제어한다. 공진네트워크 설계와 인버터 제어 시, 플라스마 부하가 가지는 특징인 Drop-out 현상을 방지하면서 정격범위 내에서 출력 전류를 얻을 수 있도록 하기 위해 위상천이 기법을 적용할 수 있도록 설계하고 시뮬레이션을 통해 설계된 공진네트워크의 타당성을 검증한다.

Keywords