TCAD와 EDISON tool을 이용한 In-house Drift-Diffusion code의 신뢰성 검증

  • 장재형 (장재형 광주과학기술원, 전기전자컴퓨터공학부)
  • Published : 2017.03.24

Abstract

Drift-Diffusion 방법은 반도체 소자의 내에서의 전하 수송 방정식을 푸는 수치해석적인 방법 중에서 비교적 계산량이 적고, 이런 장점으로 인해 널리 쓰이는 방법이다. 이 방법을 이용하여 간단한 PN diode 구조에서의 전기장, 전압 분포, IV curve 등을 확인 하는 코드를 작성하고, 작성한 코드의 신뢰성 검증을 위하여 TCAD tool인 SDEVICE와 EDISON tool을 이용하여 비교해 본다.

Keywords