한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.103.2-103.2
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- 2016
음극진공아크에 의해 제조된 금속질화물 박막의 두께 분포
Thickness Distributions of Metal Nitride Films Manufactured by Cathodic Vacuum Arc Deposition
- 발행 : 2016.11.17
초록
금속질화물 박막은 대표적인 고경도, 고내열성 박막이다. 박막의 두께는 기계적물성과 밀접한 상관관계가 있으며, 두께의 관리와 제어는 매우 중요하다. 3조 2배열의 증발원을 이용하여 Cathodic vacuum arc deposition(CVAD)법으로써 금속질화물 박막을 제조하였으며, 평균 두께
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