Proceedings of the KIPE Conference (전력전자학회:학술대회논문집)
- 2016.07a
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- Pages.261-262
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- 2016
A Study on the LLCC Resonant Converter for a Plasma Process Considering the Output Capacitor
출력 커패시터를 고려한 플라즈마 공정용 LLCC 공진컨버터에 관한 연구
- Kwon, Min-Jun (Hankyong National Univ) ;
-
Kim, Tae-Hun
(Hankyong National Univ)
;
- Lee, Woo-Cheol (Hankyong National Univ)
- Published : 2016.07.05
Abstract
고효율과 높은 전력밀도를 갖는 LLC 공진컨버터를 플라즈마 공정용 DC 전원장치로 사용하기 위해서는 공정의 특성상 출력 Filter 커패시턴스 값을 작게 설정해야 한다. 이때, 기존의 LLC 공진컨버터와 다른 동작특성을 보이게 되는데, 본 논문에서는 플라즈마 공정용 LLC 공진컨버터에서 출력 Capacitor를 고려한 LLCC 공진 컨버터의 특성 및 변화를 분석하였으며 시뮬레이션을 통해 확인하였다.
Keywords