Annual Conference of KIPS (한국정보처리학회:학술대회논문집)

  • 2016.10a
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  • Pages.801-803
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  • 2016
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  • 2005-0011(pISSN)
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  • 2671-7298(eISSN)
Korea Information Processing Society (한국정보처리학회)
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EDA Service for Building a Semiconductor Smart Factory

반도체 스마트 팩토리 구축을 위한 EDA서비스

  • Cho, Sua (Division of Information and Communication, Baekseok University) ;
  • Kang, Yun-hee (Division of Information and Communication, Baekseok University) ;
  • Ko, Soongho (DeviceEng Co.) ;
  • Kang, Kyung-woo (Division of Information and Communication, Baekseok University)
  • Published : 2016.10.27
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Abstract

반도체 공정에서는 제조 장비의 운영을 위한 장비 제어 및 점검에서 데이터 처리가 높은 해상도의 데이터 수집을 필요로 하고 있다. 이 논문에서는 반도체 스마트 팩토리의 환경 적용을 위해 필요한 EDA(Equipment Data Acquisition) 시스템의 구성을 기술한다. 이를 위해 반도체 세정장비 AutoFOUP의 장비 구성 정보를 수집하는 EDA 시스템의 프로토타입을 SEMI 표준을 기반으로 설계한다. 구성된 EDA 시스템은 분산 시스템 환경에서 높은 상호 운영성 및 확장성을 지원하기 위해 WCF 프로그래밍 모델로 작성된 웹서비스로 구성한다. 개발된 EDA 시스템은 반도체 제조 공정에서 웹서비스 기술을 활용함으로서 이기종 운영 플랫폼에서 유용성을 제시한다.

Keywords