한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.178-178
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- 2015
Semi-Additive Process용 초박형 무전해 구리 피막의 결정구조가 에칭속도에 미치는 영향
Effects of Crystal Structure in Electroless Cu film for Semi-Additive Process on Chemical Etching Rate
- 발행 : 2015.05.07