한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

자장 여과 진공 아크법으로 증착되는 수소 없는 DLC 후막화에 대한 연구

Study of thick coating process of hydrogen free diamond like carbon films using filtered vacuum arc method

  • 김기택 (한국기계연구원 부설 재료연구소 실용화사업단 표면처리팀) ;
  • 김동식 (한국기계연구원 부설 재료연구소 실용화사업단 표면처리팀) ;
  • 강용진 (한국기계연구원 부설 재료연구소 실용화사업단 표면처리팀) ;
  • 이성훈 (한국기계연구원 부설 재료연구소 실용화사업단 표면처리팀) ;
  • 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소 실용화사업단 표면처리팀)
  • 발행 : 2015.05.07
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초록

수소가 없는 고경도 카본막의 수요가 증대됨에 따라, 자장 여과 아크법으로 증착되는 ta-C막을 1um 이상 증착하는 공정 기술에 대한 연구 내용을 발표하고자 한다.

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