Using plasma etching to roughen a polyimide surface for inkjet printing

잉크젯 프린팅 적용을 위한 플라즈마 식각에 의한 폴리이미드 기판 조도생성

inkjet printing system으로 flexible 기판위에 metal interconnection 혹은 metal mesh를 제작 할 때 metal과 flexible substrate 의 접착력을 향상 시키고 선폭을 조절하기 위하여 surface roughness를 생성 시키고 표면을 hydrophobic 하게 개질 하였다. 그 결과 metal line의 선폭과 접착력이 향상됨을 알 수 있었다.