한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.29-29
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- 2015
마그네트론 스퍼터링을 이용한 반응성 나노 포일의 제조 공정 최적화 및 산업적 응용
Optimization of reactive nano-foil by the magnetron sputtering and industrial application
- 발행 : 2015.05.07
초록
Al과 Ni이 나노 두께로 적층되어 있는 나노 포일은 외부의 촉발에 의해 원자수준의 상호 확산을 통해 합금화 된다. AlNi 합금이 되서
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