Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2015.07a
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- Pages.1559-1560
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- 2015
Fabrication and characterization of stretchable transistor for wearable device application
웨어러블 소자 응용을 위한 신축성 트랜지스터의 제작 및 특성
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Jung, Soon-Won
(Electronics and Telecommunications Research Institute)
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Koo, Jae Bon
(Electronics and Telecommunications Research Institute)
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Koo, Kyung-Wan
(Hoseo University)
- Published : 2015.07.15
Abstract
신축성 및 웨어러블 전자소자 응용을 위하여 엘라스토머 기판 상에 박막 트랜지스터를 제작하여 그 전기적 특성을 확인하였다. 제작된 트랜지스터의 신축성 향상을 위하여 엘라스토머 기판 상에 일반적인 포토리소그래피 공정과 습식식각 공정을 이용하여 국부적 단단한 폴리이미드 영역을 형성하여 사용하였다. 트랜지스터 특성 확인 결과 약 30 % 이상의 신축에서도 정상적인 트랜지스터 동작이 가능함을 확인하였다.
Keywords