NO gas sensing properties of modified multi wall carbon nanotubes (MWCNTs) by thermal fluorination and activation

열처리로불소화 및 활성화된 탄소나노튜브의 NO 가스센서 특성

  • Published : 2015.07.15

Abstract

반도체식 가스센서의 한계를 극복하기 위하여 열불소화 방법과 활성화 방법을 이용하여 NO 가스 감지용 가스센서를 제조하였으며, 각각의 특성을 평가하였다. 열불소화 처리된 탄소나노튜브는 열처리 온도에 따라 반도체적 성질이 p-type에서 n-type으로 변화한 후 다시 p-type으로 변화하였으며, 활성화 처리된 탄소나노튜브는 비표면적이 증가할수록 NO 감지에 따른 저항변화가 증가하였다. 저항변화율은 $200^{\circ}C$에서 불소화 처리된 탄소나노튜브가 가장 크게 나탔으나 응답시간을 고려할 경우 $600^{\circ}C$에서 불소화 및 6M의 KOH를 이용한 경우 가장 우수한 특성을 보였다.

Keywords