Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Principle Measurement for Sheet Resistance of Large Size Conductive Thin Films

대면적 전도성 박막의 면저항 정밀측정

  • Kang, Jeon Hong (Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS)) ;
  • Yu, Kwang Min (Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS)) ;
  • Lee, Sang Hwa (Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS))
  • Published : 2015.07.15
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Abstract

Touch panel 및 Touch screen 등의 투명전극으로 많이 사용되고 있는 ITO(Indium Tin Oxide)나 CNT(Carbon Nano Tube) 등 전도성 박막의 면저항을 쉽고 빠르게 측정하기 위하여 van der Pauw method를 이용한 면저항 측정기를 개발하였다. 이 면저항 측정기는 대면적 시료의 면저항을 측정 할 수 있어 매우 편리하다. 면저항 측정은 주로 Four Point Probe method로 측정하는 것이 일반적이나 본 연구에서는 van der Pauw method를 이용한 측정값과 Four Point Probe method로 측정한 결과를 비교한 결과 1 % 이내에서 일치하였다. 개발된 측정기의 측정 정확도는 지시값의 1.0 % 이하이고, 측정범위는 $2{\Omega}/{\square}{\sim} 5k{\Omega}/{\square}$이다.

Keywords