Applications of the Electrodeless Plasma Light Excited by Circularly Polarized Microwave Discharges

원편광 초고주파를 이용한 무전극 플라즈마 광원 응용 연구

  • Published : 2015.07.15

Abstract

본 논문에서는 원편광 초고주파를 이용한 무전극 플라즈마 광원 기술과 광원의 특성을 논의한다. 특히 비회전 무전극 플라즈마 광원을 Solar Simulator용 광원으로 적용하여 그 특성을 설명한다.

Keywords