A highly sensitive humidity sensor with a novel hole array structure using a polyimide sensing layer

폴리이미드를 이용한 홀 어레이 구조의 높은 민감도를 가진 습도센서

  • Ryu, Min-Soo (Department of Electronic Engineering Inha University) ;
  • Chae, Ji-Sung (Department of Electronic Engineering Inha University) ;
  • Jang, Sung Pil (Department of Electronic Engineering Inha University)
  • Published : 2015.07.15

Abstract

최근 전반적인 산업 분야에서 고도의 기술을 요구하는 작업들이 늘어나고 있다. 이러한 작업들을 진행하기 위해서는 해당 작업에 알맞은 환경을 유지시켜주는 것이 중요한데 특히 작업 환경의 온도를 지속적으로 모니터링하고 조절하는 것은 매우 중요한 사안중 하나이다. 식품, 섬유 등의 제품 생산을 위한 작업 환경을 감시하고 반도체, 기타 전자 부품 등 작은 소자부터 자동차, 로보틱스, 바이오 분야 등의 어플리케이션까지 전 분야에 걸쳐 고 성능의 온도 센서를 필요로 하고 있다.

Keywords