Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference (한국컴퓨터정보학회:학술대회논문집)

Korean Society of Computer Information (한국컴퓨터정보학회)
권호 표지

A Study on the Master Controller System for Detecting a Failure of the WAFER

불량 WAFER을 검출하기 위한 마스터 콘트롤러 시스템에 관한 연구

  • Kim, Hyo-Nam (Dept. of Computer Game, ChungKang College of Culture Industries)
  • 김효남 (청강문화산업대학교 게임전공)
  • Published : 2015.07.08
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Abstract

현재 고해상도 디스플레이 제품 생산은 대량 생산 공정 시스템으로 가동하고 있으며, 대량 생산 과정에서 WAFER의 제작 불량률을 낮추는 것이 생산업체에서 무엇보다도 주요한 목표이며 이와 함께 불량 제품을 정확하고 빠르게 검출하는 것이 매우 중요하다. 본 논문에서는 불량 WAFER을 정확하게 검출하기 위한 검출시스템으로 멀티 포인트 온도 검출 방법으로 구현된 면적형 온도 센서 기능과 검출된 데이터를 유/무선 통신방식으로 상위의 관리/모니터링 시스템으로 전송 할 수 있는 기능을 가진 마스터 콘트롤러 시스템을 제안한다.

Keywords