한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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- Pages.250.2-250.2
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- 2015
대기압 DBD 플라즈마를 이용한 태양전지 도핑 공정 연구
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황상혁
(광운대학교 전자바이오물리학과) ;
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박종인
(광운대학교 전자바이오물리학과) ;
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김우재
(광운대학교 전자바이오물리학과) ;
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최진우
(광운대학교 전자바이오물리학과) ;
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박혜진
(광운대학교 전자바이오물리학과) ;
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조태훈
(광운대학교 전자바이오물리학과) ;
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윤명수
(광운대학교 전자바이오물리학과) ;
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권기청
(광운대학교 전자바이오물리학과)
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Hwang, Sang-Hyeok
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Park, Jong-In
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Kim, U-Jae
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Choe, Jin-U
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Park, Hye-Jin
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Jo, Tae-Hun
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Yun, Myeong-Su
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Gwon, Gi-Cheong
- 발행 : 2015.08.24
초록
결정질 태양전지의 변환효율은 이미 이론적 한계에 가까워져, 최근 산업에서는 이 대신 제조공정 단가를 낮추려는 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 태양전지 도핑공정에 대기압 DBD 플라즈마를 응용하여 저렴하게 태양전지를 제작할 수 있는 방법을 모색한다. 대기압 DBD 플라즈마를 발생시키기 위해 DC-AC 인버터 구조의 전원을 사용하여 수십 kHz의 주파수, 수 kV의 전압을 인가하여