Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2015.08a
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- Pages.176.2-176.2
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- 2015
박막 표면 결정성에 대한 Nano-Indenter 압입 각도 차이의 nano-electrotribology 특성 변화 연구
- Lee, Jae-Hun ;
- Kim, Su-In ;
- Kim, Hong-Gi ;
- Kim, Min-Ho ;
- Kim, Min-Jun ;
- Park, Bo-Gyeom ;
- Lee, Seok-Won ;
- Hong, Gi-Taek ;
- Lee, Chang-U
- 이재훈 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 김수인 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 김홍기 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 김민호 (서울과학고등학교) ;
- 김민준 (서울과학고등학교) ;
- 박보겸 (서울과학고등학교) ;
- 이석원 (서울과학고등학교) ;
- 홍기택 (서울과학고등학교) ;
- 이창우 (국민대학교 나노전자물리학과)
- Published : 2015.08.24
Abstract
기존의 트라이볼로지 분석 기법은 macro 영역에서 시료의 강도 및 탄성 등의 물성을 분석하는 정도였으나 Nano-Indenter 분석 기법은 macro 영역보다 더 미세한 nano 영역에서의 시료 물성 분석을 가능하게 해주었다. 따라서 본 연구에서는 시료들의 결정 배양 방향에 따른 Nano-Indenter 압입 각도 차이에 대한 nano 영역에서의 연구를 진행하였다. Si 기판 외에 본 연구에 사용 된 HfN 및 Zr 박막의 시료들은 rf magnetron sputter를 이용하여 약 100 nm 두께로 증착하였다. 각각 시료들에 대한 결정성 확인을 위해 XRD 분석을 실시하였다. 이후 Nano-Indenter를 이용하여 압입 인가력 대비 압입 깊이를 측정하였다. 이 과정에서 Nano-Indenter 압입 각도를