Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2014.11a
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- Pages.306-307
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- 2014
Vacuum system design using the shear stress limit of clamp and the axial stress associated with bellows contraction
Bellows 수축에 따른 축방향응력과 clamp의 전단응력한계를 이용한 진공 system 설계
Abstract
진공용 장비의 sealing 방법으로 Cu gasket을 이용한 CF type과 O-ring을 이용한 NW type이 있다. 이중 O-ring을 이용한 sealing 방법에는 clamp를 사용하게 되는데 Al 합금으로 제작된 clamp에 bellows의 수축 시 받는 전단응력과 전단응력한계 이상의 힘을 받았을 때의 clamp 파손에 따른 역압에 의한 TMP 손상 분석.
Keywords