Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Effect of Chromium and Nitrogen content on the corrosion properties of Ti-Cr-N films

Cr 및 N2 함량에 따른 Ti-Cr-N 박막의 부식특성 변화

  • 차병철 (한국생산기술연구원 동남지역본부) ;
  • 허성보 (한국생산기술연구원 동남지역본부) ;
  • 박민재 (한국생산기술연구원 동남지역본부) ;
  • 정우창 (한국생산기술연구원 동남지역본부)
  • Published : 2014.11.20
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Abstract

유도결합플라즈마 보조 D.C.마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 STS316L 위에 Ti-Cr-N 박막의 증착하였으며 크롬과 질소의 함량에 따른 부식특성 변화를 관찰하였다. Ti-Cr-N 박막을 증착시켰을 때는 미처리 STS316L에 비해 더 우수한 부식특성을 보였으며 크롬타겟의 인가전원이 100W 일 때와 질소비가 0.3일 때 가장 우수한 내부식 특성을 나타내었다.

Keywords