Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Thickness control of MoS2 by using O2 plasma

산소 플라즈마를 이용한 2차원 소재 MoS2의 두께제어 기술 연구

  • 김서현 (성균관대학교 나노과학기술학과) ;
  • ;
  • 라창호 (성균관대학교 나노과학기술학과) ;
  • 유원종 (성균관대학교 나노과학기술학과)
  • Published : 2014.11.20
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Abstract

Single layer $MoS_2$가 가지고 있는 전기적 특성, 광특성 등을 이용하기 위해 본 연구에서는 $O_2$ plasma를 이용해 경제적이며 효과적인 방법을 제시하고자 한다. 미세 etching을 통해 linear하게 thickness가 변화하는 것을 확인하고, pristine과 비슷하거나, 더 향상된 $MoS_2$를 제작하였다.

Keywords