한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.285-285
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- 2014
새로운 플라즈마 소스를 이용한 Al doped ZnO 박막 연구
The characteristic of AZO films deposition by new plasma source
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- 한전건 (성균관대학교 신소재공학부, 플라즈마 나노 신소재 연구소)
- 발행 : 2014.11.20