Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

The Study of Mechanical Properties on Cr-Zr-Si-N Coating with Various Ar/N2 Ratio

아르곤과 질소 가스 비율에 따른 CrZrSiN 박막의 물성 변화에 대한 연구

  • 김규성 (한국항공대학교 재료공학과 표면기술응용센터) ;
  • 라정현 (한국항공대학교 재료공학과 표면기술응용센터) ;
  • 이상율 (한국항공대학교 재료공학과 표면기술응용센터) ;
  • 전종범 (DTR주식회사)
  • Published : 2014.11.20
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Abstract

난삭재에 대한 관심이 증가하면서 최근 공구시장에서는 고경도, 고내열성을 갖는 코팅물질에 대한 연구가 진행되고 있다. 따라서 두 장점을 모두 가진 나노복합구조를 가진 박막에 대한 연구가 진행되고 있으며 특히 경도에 영향을 미치는 나노결정립과 내열성에 영향을 주는 비정질층의 비율을 조절하는 연구에 집중하고 있다. 따라서 본 연구에서는 질소분압이 변화시키며 CrZrSiN 박막의 물성 변화를 확인하였다.

Keywords