한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

내부 선형 펄스 유도 결합 플라즈마의 특징

The Characteristics of Internal Linear Pulsed Inductively Coupled Plasma

  • Lee, C.H. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University) ;
  • Kim, K.N. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University) ;
  • Kim, T.H. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University) ;
  • Lee, S.M. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University) ;
  • Bae, J.W. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University) ;
  • Yeom, G.Y. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University)
  • 발행 : 2014.11.20
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초록

Plasma를 이용하는 대면적 디스플레이 공정에서 균일도는 매우 중요한 요소 중 하나이다. 이를 향상시키기 위하여 본 연구에서는 pulsed plasma를 이용하여 duty ratio를 조절함으로써 균일도를 향상시켰으며, plasma on/off time을 이용하여 electron temperature를 낮추어 plasma에 의한 damage를 감소시키려 하였다. 또한 optical emission spectroscopy(OES)를 이용하여 pulse condition에따라 변하는 ion species peak을 실시간으로 확인하였다.

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