한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.196-196
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- 2014
III-V족 반도체 소자의 Interface Passivation Layer을 위한 원자층 식각
Atomic Layer Etching of interface Passivation Layer for III-V compound semiconductor devices
- 발행 : 2014.11.20