Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Analysis of the QMS differential exhaust system for process analysis

공정분석을 위한 QMS 차등 배기 시스템의 분석

  • 정진용 (국립 군산대학교 플라즈마융합공학 대학원) ;
  • 유영군 (국립 군산대학교 신소재공학과) ;
  • 임진형 (국립 군산대학교 신소재공학과) ;
  • 김형주 (국립 군산대학교 신소재공학과) ;
  • 최용섭 (국가핵융합연구소) ;
  • 주정훈 (국립 군산대학교 플라즈마융합공학 대학원)
  • Published : 2014.11.20
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

QMS(quadruple mass spectrometer) system은 식각 및 증착 공정 중 chamber 내부의 잔류기체를 분석하여 다양한 실험환경과 조건에서 신뢰성 있는 혼합가스조성비를 분석할 수 있게 해주며 chamber 내부의 압력에 따라 hexblock의 valve를 통해 QMS의 내부 압력을 조절할 수 있다.

Keywords