한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

화학 동도금을 이용한 캐리어 극박 동박 표면 특성 평가에 관한 연구

An evaluation method on the surface characteristics of ultra-thin copper foil using chemical copper plating

  • 허진영 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ;
  • 이홍기 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ;
  • 구석본 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ;
  • 전준미 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ;
  • 김익범 ((주)와이엠티)
  • 발행 : 2014.11.20
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초록

본 연구는 알루미늄 및 구리 캐리어 소재상에 화학 동도금(Chemical Copper)으로 형성된 극박 동박 표면 및 석출막의 특성 평가에 관한 연구이다. 평가에 사용된 극박 동박은 현재 캐리어박 선점률이 높은 M, J, Y사의 제품이다. 최상층 구리 표면에서 조직, 조성, 표면조도를 평가하였고, 단면 평가에서는 copper layer 및 nodule layer, adhesion layer, anti-corrosion layer, release layer, substrate에서의 물성 및 특성을 평가하였다.

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