Analysis of a-IGZO photoresponse using Red, Green and Blue Laser

RGB laser 를 이용한 온도에 따른 a-IGZO photo-response 분석

RGB laser 를 이용하여 rf-magnetron sputtering 법으로 합성한 a-IGZO 박막의 photoresponse 를 관찰하였다. Air 분위기에서 red 파장을 조사 할 경우 비교적 slow recovery 특성을 보였으며, green 과 blue 파장을 조사 할 경우 red 보다 fast recovery 특성을 나타내었다. 그러나 진공에서 측정할 경우, red 파장에서는 recovery 가 빨라졌으며, green 과 blue 파장의 경우 recovery 가 매우 느려짐을 확인하였다. 이는 passivation 을 하지 않은 소자의 oxygen gas 의 흡/탈착 때문으로 예상할 수 있었으며, red 파장이 gas 탈착에 기여하는 정도가 매우 작고, green 과 blue 파장이 gas 탈착에 기여하는 정도가 매우 크기 때문인 것으로 생각할 수 있었다. 온도를 증가시킬 경우, 모든 경우에서 recovery 가 빠르게 나타났는데 이는 흡/탈착에 필요한 barrier 및 $V_o{^{2+}}$에서 Vo 로 돌아오기 위한 barrier 를 쉽게 넘어갈 수 있기 때문으로 이해 할 수 있었다. 이러한 결과를 stretched exponential equation 을 이용하여 해석하였으며 수치화 하였다.