한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집
- /
- Pages.104-105
- /
- 2014
리쏘그라피 패턴 전해증착법에 의해 얼라인된 Te 나노리본 합성
Synthesis of Aligned Te Nanoribbons by Lithographically Patterned Nanowire Electrodeposition Technique
- 정현성 (한국세라믹기술원 기초소재융합본부) ;
- Jeong, Hyeon-Seong ;
- Myung, Nosang V. (University of California, Riverside, Chemical & Environmental Engineering)
- 발행 : 2014.11.20
초록
마이크로 패턴된 Au 전극사이에 얼라인된 Tellurium (Te) 나노리본들이 의도한 모양과 배열방식을 가지고 리쏘그래피 패턴 전해증착 (Lithographically patterned nanowier electrodepositon, LPNE) 방법에 의해 4인치 Si wafer 배치로 합성되었다. 합성된 Te 나노리본은 수 센티미터의 길이를 가지고, 그 두께와 폭 역시 작업 전극으로 사용되는 Si wafer위에 증착된 Ni의 두께와 전해증착 시간에 의해 쉽게 제어될 수 있다.
키워드