Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A Study of physical energy and electrical property of carbon films synthesiszed by pulse DC magnetron sputtering parameter

펄스 DC 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 카본 박막의 전도성과 물리적 에너지와의 상관관계에 대한 고찰

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  • 진수봉 (성균관대학교 신소재공학부, 플라즈마 나노 신소재 연구소) ;
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  • 한전건 (성균관대학교 신소재공학부, 플라즈마 나노 신소재 연구소)
  • Published : 2014.11.20
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Abstract

탄소는 부식되지 않고 친환경적이며 물리화학적 안정성 및 내마모성 등 많은 장점을 가지고 있어 많은 연구들이 진행 되고 있다. 하지만 탄소 박막은 전도도가 낮은 단점을 가지고 있다. 본 연구에서는 탄소 박막의 전도성과 플라즈마 변수와의 상관관계를 규명 하고자 하였다. 박막의 특성은 X-ray Diffraction (XRD), Hall measurement, Contact angle, Raman spectroscopy 등의 분석기기를 사용하여 측정하였고 그 결과 DC보다 Pulse DC를 사용할 때 더 좋은 전기적 특성을 나타내었다.

Keywords