Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

SiNx Coatings on Polymer Substrate by High Frequency Discharge for Food Packaging

식품 포장재용 고주파 방전에 의한 폴리머 기판에의 SiNx 박막 합성

  • 이준석 (성균관대학교 신소재공학부, 플라즈마 나노 신소재 연구소) ;
  • ;
  • 진수봉 (성균관대학교 신소재공학부, 플라즈마 나노 신소재 연구소) ;
  • 한전건 (성균관대학교 신소재공학부, 플라즈마 나노 신소재 연구소)
  • Published : 2014.11.20
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Abstract

식품포장재용 SiNx 박막을 합성하였다. SiNx 박막은 박막이 투명하고 낮은 투습도를 가지고 있어 식품포장재뿐 아니라 유기소자디스플레이에서도 활발히 연구되고 있다. 이 연구에서는 SiNx 박막을 PECVD를 통한 저온 공정으로 PET 기판 위에 합성하여 높은 투과도를 가지며 낮은 투습도를 갖는 박막을 합성하였다. 박막 합성 중의 플라즈마 특성을 알아보기 위해 Optical Emission Spectroscopy (OES)를 통한 플라즈마 진단을 하였으며, 박막의 특성을 알아보기 위해 FT-IR, UV-visible, MOCON 테스트 등을 하였으며, $7.6{\times}10^{-3}g/m^2/day$의 투습도를 갖는 것을 확인하였다.

Keywords