Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Properties of TiN films prepared by oblique angle deposition using various sputtering conditions

빗각 증착법을 이용한 스퍼터링 공정조건에 따른 TiN 박막의 빗각형상 및 특성 연구

  • 송민아 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 양지훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 정재훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 김성환 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부)
  • Published : 2014.11.20
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Abstract

빗각 증착은 입사 증기가 기판에 수직하게 입사하는 일반적인 공정과는 다르게 증기가 기판의 수직선과 $0^{\circ}$이상의 각을 갖는 증착 방법을 의미한다. 본 연구는 공정 압력이 비교적 높은 스퍼터링 공정에서 빗각 증착을 실시하여 코팅층의 구조제어가 가능한지를 확인하였다. 본 연구에서는 조직의 치밀도 향상을 통한 특성 향상을 위해 TiN 박막을 제조함에 있어서 빗각 증착 기술을 응용하여 단층 및 다층 피막을 제조하고 그 특성을 비교하였다.

Keywords