Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2014.02a
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- Pages.470.2-470.2
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- 2014
결정질 실리콘 태양전지에서 RF-PECVD를 이용한 실리콘 질화막의 패시베이션 향상 연구
Abstract
RF-PECVD 장치에 의해 증착된 실리콘 질화막(SiNx)은 결정질 실리콘 태양전지에서 반사 방지막 효과 및 우수한 표면 패시베이션 특성을 제공하는 것으로 알려져 있다. 본 논문에서는 실리콘 질화막의 패시베이션 특성을 향상시키기 위해서 공정온도를
Keywords
- SiNx (silicon nitiride);
- RF-PECVD (radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition);
- Passivaiton;
- Crystalline silicon solar cell