Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

아연을 코팅한 테프론 기판 위에 성장된 산화아연 박막의 후열처리 효과

  • 김익현 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 박형길 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 김영규 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 남기웅 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 윤현식 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 박영빈 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 문지윤 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 박선희 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 김동완 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 김진수 (전북대학교 신소재공학과) ;
  • 김종수 (영남대학교 물리학과) ;
  • 임재영 (인제대학교 나노공학부)
  • Published : 2014.02.10
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Abstract

산화아연 박막은 아연이 코팅된 테프론 기판 위에 졸-겔 스핀코팅 방법을 이용하여 각기 다른 후열처리 온도에서 제작되었다. 산화아연 박막의 후열처리 온도에 따른 구조적, 광학적 특성은 field emission scanning electron microscopy (FE-SEM), X-ray diffractometer, and photoluminescence spectroscope를 이용하여 분석하였다. 후열처리 온도를 달리하여 성장한 모든 산화아연 박막은 수지상(dendrite) 구조를 가지고 있으며, 이 수지상 구조 위에 약 20 nm의 산화아연 입자들이 성장되었다. 후열처리 온도가 증가함에 따라 c-축 배향성이 우세하게 나타났으며, 인장응력도 증가하였다. 후열처리 온도 $400^{\circ}C$에서 Near-band-edge emission (NBE) 피크는 적색편이(red-shift) 하였고, 후열처리 온도가 증가함에 따라 deep-level emission (DLE) 피크의 세기는 감소하였다. 또한 $400^{\circ}C$의 후열처리 온도에서 NBE 피크의 반치폭(FWHM)이 가장 작았으며, INBE/IDLE의 비율이 가장 높았다. 따라서 $400^{\circ}C$의 후열처리 공정에 의해 결정성 및 광학적 특성이 가장 우수한 산화아연 박막을 얻을 수 있었다.

Keywords