Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2014.02a
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- Pages.247.2-247.2
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- 2014
Ar/N2 혼합가스 비율에 따른 대기압 저온 플라즈마제트의 플라즈마 전파 속도 및 전자 온도 조사
- Han, Guk-Hui ;
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Kim, Yun-Jung
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- Jin, Se-Hwan ;
- Kim, Hyeon-Cheol ;
- Suanpoot, Pradoong (Maejo University Phrae Campus) ;
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Jo, Gwang-Seop
- 한국희 (광운대학교 전자바이오물리학과) ;
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김윤중
(광운대학교 전자바이오물리학과)
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- 진세환 (광운대학교 전자바이오물리학과) ;
- 김현철 (광운대학교 전자바이오물리학과) ;
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조광섭
(광운대학교 전자바이오물리학과)
- Published : 2014.02.10
Abstract
플라즈마 전파 속도와 전자 온도를 조사하기 위해 ICCD카메라(Intensified Charge-Coupled Device Camera, 이하 ICCD)를 이용하여 대기압 저온 플라즈마제트의 방전 이미지를 촬영하였다. 사용된 플라즈마 제트 장치는 유리관 안에 주사기 바늘형 전극이 들어있는 형태이다. 전극의 내경은 1.3 mm, 외경은 1.8 mm, 총 길이는 39.0 mm이며 재질은 스테인레스강이다. 유리관의 내경은 2.0 mm, 외경은 2.4 mm, 총 길이는 80.0 mm이다. 입력 전압은 3.0 kV이며 구동 주파수는 40 kHz이다. 아르곤과 질소의 혼합가스 비율은 각각 100:1, 98:2, 95:5을 사용하였으며 총 가스유량은 400 sccm이다. 각각의 비율별로 군속도는 267 km/s, 305 km/s, 313 km/s이며 이온 음향 속도는 1.16 km/s, 1.24 km/s, 1.25 km/s이고, 전자 온도는 0.55 eV, 0.63 eV, 0.65 eV로 관찰되었다.