Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2014.02a
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- Pages.177.1-177.1
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- 2014
탄소나노튜브-그래핀 하이브리드 박막을 이용한 투명전극과 전계효과트랜지스터로의 응용
- Kim, Seong-Ho ;
- Song, U-Seok ;
- Jeong, Min-Uk ;
- Gang, Min-A ;
- Lee, Seon-Suk ;
- Im, Jong-Seon ;
- Hwang, Jin-Ha ;
- Myeong, Seong ;
- An, Gi-Seok
- 김성호 (한국화학연구원 박막재료연구그룹) ;
- 송우석 (한국화학연구원 박막재료연구그룹) ;
- 정민욱 (한국화학연구원 박막재료연구그룹) ;
- 강민아 (한국화학연구원 박막재료연구그룹) ;
- 이선숙 (한국화학연구원 박막재료연구그룹) ;
- 임종선 (한국화학연구원 박막재료연구그룹) ;
- 황진하 (한국화학연구원 박막재료연구그룹) ;
- 명성 (한국화학연구원 박막재료연구그룹) ;
- 안기석 (한국화학연구원 박막재료연구그룹)
- Published : 2014.02.10
Abstract
단일벽 탄소나노튜브(single-wall carbon nanotube)와 그래핀(graphene)과 같은 저차원 구조의 탄소물질은 우수한 기계적, 전기적, 열적 광학적 특성으로 인해 투명하고 유연한 차세대 전자소자로의 응용(투명전극, 투명트랜지스터, 투명센서 등)을 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 단일벽 탄소나노튜브와 단일층 그래핀을 이용한 하이브리드 박막을 제작하여 투명전극(transparent electrode)과 전계효과 트랜지스터(field effect transistors)로의 응용 가능성을 연구하였다. 하이브리드 박막의 제작은 간단한 방법으로 단일벽 탄소나노튜브가 스핀 코팅된 구리 호일 위에 열 화학기상증착법(thermal chemical vapor deposition)을 통해 제작 하였다. 제작 과정 중 탄소나노튜브의 스핀코팅 조건을 최적화하여 하이브리드 박막에서 탄소나노 튜브의 밀도와 정렬을 제어하였으며 하이브리드 박막 제작 후 스핀 코팅 방향에 따른 박막의 저항을 측정하여 단일벽 탄소나노튜브의 코팅 방향에 따라 박막의 저항이 달라지는 모습을 확인할 수 있었다. 하이브리드 박막의 투명전극 특성을 확인 한 결과