한국정보처리학회:학술대회논문집 (Annual Conference of KIPS)
- 한국정보처리학회 2013년도 춘계학술발표대회
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- Pages.850-852
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- 2013
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- 2005-0011(pISSN)
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- 2671-7298(eISSN)
DOI QR Code
지진재해 대비 정밀 FAB. 구조물의 모니터링 시스템 설계
A Design of seismic monitoring system for Ultra Precision FAB. Structure
- Lee, Hyun-Jun (Lab. of RMS Technology Co., Ltd.) ;
- Song, Won-kil (Lab. of RMS Technology Co., Ltd.) ;
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Lee, Kyong-Oh
(Dept. of Computer Engineering, Sun-Moon University)
- 발행 : 2013.05.10
초록
산업발전에 따라 초정밀 가공/생산/검사 장비를 설치, 운용하는 FAB. 구조물의 건축이 증대되고 있으며, 이에 따라 건물의 환경진동 규제치도 강화되고 있는 실정이다. 한국은 일본이나 동남아 국가들과는 달리 지진에 대한 피해가 직접적으로 보고되고 있지는 않지만, 동일본 지진에서와 같이 인접국가의 대규모 지진은 초정밀 장비의 작동에 심각한 영향을 준다. 따라서, 본 논문에서는 대규모 지진에 영향을 받는 일반 건물과 미세한 지반 진동에도 영향을 받는 정밀 FAB. 에서 운용이 가능한 범용적인 지진재해 대비 모니터링 시스템의 설계에 대해 서술한다.
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