Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Micro structure and mechanical properties of CrZrON coatings Synthesized by Cr-Zr Segment Target and unbalanced magnetron sputtering

Cr-Zr Segmet target과 unbalanced magnetron sputtering을 이용하여 합성한 CrZrON 박막의 미세구조 와 기계적 특성

  • 김동준 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
  • 라정현 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
  • 김성민 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
  • 이상율 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터)
  • Published : 2013.05.30
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Abstract

CrZrN 3원계 박막은 상온에서 매우 우수한 기계적 특성을 나타내지만, $500^{\circ}C$ 이상의 고온에서는 Zr의 산화로 인하여 기계적 특성이 저하되게 된다. 따라서 본 연구에서는 CrZrN 박막의 고온 특성을 개선하기 위해서 내산화성이 향상에 영향을 미치는 표면 산화물을 만들기 위해 산소 원소를 첨가하여 CrZrON 4원계 oxynitride 박막을 segment target을 이용해 합성하였고, 박막의 미세구조를 분석하였다.

Keywords