Proceedings of the KIPE Conference (전력전자학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Power Electronics (전력전자학회)
권호 표지

A Study On The Asymmetry Pulse Type DC Plasma Power Supply With Easiness To Voltage Control

출력전압제어가 용이한 비대칭 펄스형 DC 플라즈마 전원장치에 관한 연구

  • 유성환 (국립인천대학교 전기공학과) ;
  • 추대혁 (국립인천대학교 전기공학과) ;
  • 윤대식 (국립인천대학교 전기공학과) ;
  • 김준석 (국립인천대학교 전기공학과)
  • Published : 2013.07.02
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Abstract

최근 각 종 산업 분야에서 박막증착 공정의 다양화, 고품질화, 고속화 추세에 대응하기 위하여 고밀도의 대용량 DC 플라즈마 전원장치에 대한 관심이 커지고 있으며, 아울러 DC 플라즈마 전원장치의 고질적인 문제인 아크 방지회로의 중요성이 부각되고 있다. 효율적인 아크 방지 기법의 하나인 비대칭 펄스형 DC플라즈마 전원장치에서는 짧은 기간 동안 (-)전압을 부하에 인가하여 아크에너지를 감소시키는 방법을 사용하고 있으며 이를 위해 매우 부피가 큰 트랜스포머가 사용되고 있다. 본 연구는 펄스형 DC플라즈마 전원장치에서 나타나는 승압효과를 억제하고 전체 효율을 향상시킴과 동시에 상호 인덕턴스가 작은 트랜스포머를 사용하여 부피를 크게 감소시킨 진보된 형태의 비대칭 펄스형 DC 플라즈마 전원장치를 제안한다.

Keywords