A Monolithic Piezoelectric-Driven Flexure-Hinge Nanopositioner integrated with Multiple Lens

압전소자 구동방식의 렌즈 일체형 나노포지셔너의 설계 및 제작

  • 김욱배 (한국산업기술대학교 기계설계공학과) ;
  • 김진수 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
  • 신명호 (한국산업기술대학교 기계설계공학과) ;
  • 정영훈 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
  • 이종항 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
  • 박철우 (한국산업기술대학교 기계공학과)
  • Published : 2013.04.24

Abstract

Keywords

Acknowledgement

Supported by : 한국연구재단