Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)

  • 2013.04a
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  • Pages.153-154
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  • 2013
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  • 1598-2548(pISSN)
The Korean Society for Noise and Vibration Engineering (한국소음진동공학회)
권호 표지

Comparison of vibration analyses on microcantilevers for Atomic Force Microscopy by state-space equations and the finite element method

AFM 마이크로 캔틸레버의 상태 공간 방정식 및 유한 요소 진동 해석 비교

  • 이진우 (아주대학교 기계공학부) ;
  • 김일광 (서울 시립대학교 기계정보공학과) ;
  • 한동희 (서울 시립대학교 기계정보공학과) ;
  • 이수일 (서울 시립대학교 기계정보공학과)
  • Published : 2013.04.24
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Abstract

Keywords

Acknowledgement

Supported by : 한국연구재단