Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.1079-1080
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Measurement and Correction of Phase Shift in Simultaneous Phase Shifting Interferometer Using Pixelated Phase Mask

위상마스크를 사용하는 동시위상천이 간섭계의 위상천이 값 측정 및 보정방법

이동원 (연세대학교 기계공학과) ;
김재완 (한국표준과학연구원 길이센터) ;
한재원 (연세대학교 기계공학과) ;
김종안 (한국표준과학연구원 길이센터)

Published : 2013.05.29

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Abstract

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