Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2013.05a
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  • Pages.1043-1044
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  • 2013
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Design and Fabrication of Certified Reference Material for Through Silicon Vias

관통전극 표준인증물질의 설계 및 제작

  • 맹새롬 (한국표준과학연구원(KRISS) 기반표준본부 길이센터) ;
  • 진종한 (한국표준과학연구원(KRISS) 기반표준본부 길이센터) ;
  • 김재완 (한국표준과학연구원(KRISS) 기반표준본부 길이센터) ;
  • 김종안 (한국표준과학연구원(KRISS) 기반표준본부 길이센터) ;
  • 강주식 (한국표준과학연구원(KRISS) 기반표준본부 길이센터)
  • Published : 2013.05.29
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Abstract

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