한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.659-660
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
반도체 제조 환경하에서 엔지니어 변경점 관리 시스템 구축에 대한 연구
Development of Engineer Change Point Management System in Semiconductor Manufacturing
- 추태진 (삼성전자 공과대학교 반도체 공학과) ;
- 공승훈 (삼성전자(주)) ;
- 장인갑 (삼성전자(주)) ;
- 김창년 (삼성전자(주)) ;
- 노경준 (삼성전자(주)) ;
- 곽상근 (삼성전자(주))
- Choo, T.J. ;
- Kong, S.H. ;
- Chang, I.K. ;
- Kim, C.N. ;
- Noh, K.J. ;
- Kwak, S.K.
- 발행 : 2013.05.29