Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.647-648
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A Study on the Reduction of Pattern Deformation by Optimized FIB during the TEM Sample Preparation

Nano 급 반도체 TEM 시료 제작 시, 미세 Pattern 변형에 대한 연구

한창우 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
김종규 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
이경우 (삼성전자) ;
변광선 (삼성전자)

Published : 2013.05.29

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Abstract

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